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激光尺可提供高精度的线性位置反馈...
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◆产品特点
精确地反馈机床精度;
分辨率10 nm;
线性定位精度优于5 nm;
速度2 m/s;
安装方便简单;
RLE系统是独创的先进零差激光干涉测量系统,特别为位置反馈应用而设计。
每套RLE系统均包含一个RLU激光装置和一个或两个RLD10发射头,具体型号取决于特定应用的要求。
◆产品应用
高性能激光干涉测量领域的领导者。在提供干涉测量激光尺解决方案方面,雷尼绍拥有近25年的经验;激光尺具有广泛的应用范围,从大型航空中心到高精度半导体行业,适合OEM机器制造商采用。